ZEUDE265(200mW 265nm) ZHUDE265(200mW 265nm) ZEUBE265-1DA(70mW 265nm) ZEUBE265-2CA(50mW 265nm) ZGUFE265(30mW 265nm) ZJUFE265(12mW 265nm) ZKUFE265(6mW 265nm) 「深紫外 265nm LED」の技術について