圧電式MEMSミラー 圧電式MEMSミラー

圧電式MEMSミラー

MEMSとは?

  • Micro(マイクロ)
  • Electro(電気)
  • Mechanical(機械)
  • Systems(システム)
MEMSとはMicro Electro Mechanical Systemsの略で、半導体製造技術やレーザー加工技術等、各種の微細加工技術を応用し、微小な電気要素と機械要素を一つの基板上に組み込んだセンサ、アクチュエータ等のデバイス/システムのことを指します。

以下を特長とする小さな機械

省スペース
省エネルギー
省資源

MEMSミラーとは?

|MEMSミラーの駆動方式|

MEMSミラーの駆動方式には、圧電、電磁、静電方式があります。

MEMS

スキャニングミラー

  • 圧電方式
    シリコンウェハに圧電体膜を成膜させ、電圧を印加することにより生じる反りの動作を、ヒンジを通じてミラーに伝達させることでミラーを駆動させる構造
  • 電磁方式
    磁石の磁界中にあるミラー周辺のコイルに電流を流し、ミラーを駆動する構造
  • 静電方式
    ミラーの両端にある静電アクチュエータによりミラーを駆動する構造

スタンレー電気のMEMSミラー:圧電方式を採用

小型化 : サイズが小さくなるほど出力は圧電型の優位性が上がる

他方式アクチュエータのサイズと出力の関係(イメージ) スタンレー電気のMEMSミラーは、圧電方式を採用

|MEMSミラーの構造と動作|

スタンレー電気のMEMSミラーの優位性

|MEMSミラーの構造と動作|

圧電方式 電磁方式 静電方式
イメージ図
単位当たりの力
大きい
106〜107N/m2

小さい
101〜103N/m2

小さい
101〜104N/m2
動作環境温度
車載OK
125℃以下
×
車載NG
100℃以下

車載OK
150℃以下
耐震動性
車載OK

車載OK
×
車載NG
車載要求品質を満たすスタンレー電気のMEMSミラー

市場とアプリケーション

MEMSミラーが利用されるアプリケーションとして、ヘッドランプやインテリジェント照明、モバイルプロジェクタやARグラス等が考えられている。

Illumination/Lighting

ヘッドランプ
照明
プロジェクタ

Imaging + New application

ヘッドアップディスプレイ
ARグラス/スマートグラス/モバイル機器
路面描画

プロジェクタ


投影原理 :

|MEMSミラー投影原理|

MEMSミラー投影原理

|ラスタースキャンデモ|

ARグラス

フロー

|レーザービームスキャン方式|

照明

・幅広い照射角度
・光度調節可能
・照射位置・形状を変更可能

|レーザービームスキャン方式|

レーザービームスキャン方式

|投影のイメージ : 任意形状・高輝度領域の形成が可能|

投影のイメージ:任意形状・高輝度領域の形成が可能

スターターキット
ラインナップ

A Type B Type C Type
光源・MEMS一体型 光源・MEMS分離型 MEMS + 駆動回路
光学系設計 不要 お客様にて実施 お客様にて実施
LD 光源 不要 不要 お客様にて用意
構成イメージ
MEMSパッケージ セラミックパッケージ
(シール無し)
セラミックパッケージ (シール無し) or
メタルパッケージ (気密封止)
セラミックパッケージ (シール無し)or
メタルパッケージ (気密封止)
デバイス仕様 駆動方式 圧電駆動
光学振れ角
パターン1
パターン2
光学 水平 : ±22deg
振れ角 垂直 : 12deg
または
光学 水平 : ±20deg
振れ角 垂直 : ±6deg
共振周波数
共振 水平 : 36±1kHz
周波数 垂直 : >700Hz
または
共振 水平 : 21.5±0.5kHz
周波数 垂直 : >1kHz
ミラー径(有効エリア)
ミラー径 Φ 1 mm
または
ミラー径 Φ 1.48 mm × 1.63 mm
※当該仕様は予告なく変更する可能性がございます。

スタンレー電気のMEMSミラースターターキットは、お客様が検討されているアプリケーションにより、3タイプから選択していただくことが可能で、商品企画や開発に適した評価ツールとしてご活用いただけます。ご要望、ご不明な点がございましたらお気軽にお問い合わせください。

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